液晶屏能夠顯示各種信息給人類,是現(xiàn)代電子技術、人工智能的重要基礎單位,是人機交互的重要通道,具有十分重要的價值。液晶屏中最新的是源矩陣有機發(fā)光二級面板顯示屏(amoled),因其特性受到了業(yè)界的廣泛關注,其中偏光片是它的重要組成部分。偏光片分別由保護膜、三醋酸纖維素膜(TAC)、聚乙烯醇膜(PVA)、離型膜和壓敏膠等結構層組成。在生產過程中,將原材料的膜通過拉伸、擴大等制作工藝,最終使偏光片整體透光效果均勻,從而為amoled的均勻發(fā)光效果提供保障。
偏光片是一種常見的偏振光學元件,應用非常廣泛,在薄膜電晶體液體顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)型液晶顯示面板中,必有兩層偏振方向正交的偏光片。偏光片成品一般由 6 層微米級厚度的透明聚合物薄膜組成,其外觀缺陷可能出現(xiàn)在任何一層。一旦出現(xiàn)凸凹點、異物、氣泡、劃痕等外觀缺陷會直接降低顯示面板的質量等級,甚至導致整個面板報廢,因此偏光片外觀缺陷檢測就變得尤為重要。
1、案例需求:薄膜溝槽深度測量
2、解決方案:
采用3D飛點分光干涉儀系列,采集薄膜劃痕狹縫數(shù)據,用GIVS 3D進行檢測。
3、樣品特點
多層透明薄膜、溝槽橫向寬度窄
4、測量條件
掃描點數(shù):100×400
掃描范圍:0.3×1.2(mm)
5、軟件工具
平面校正、點云轉深度圖、高度測量等。
6、檢測方案
(1)點云數(shù)據采集;
(2)進行點云數(shù)據校正,將點云轉成深度圖;
(3)選擇測量區(qū)域,進行高度測量。
3D飛點分光干涉儀 是專業(yè)用于超高精度、鏡面高反光及透明材質的納米級測量儀。采用譜域白光干涉原理,實現(xiàn)300nm Z向絕對精度、30nm Z向重復精度,掃描幀率70kHz,最大直徑80mm,可適用于測量強反射、弱反射及透明物體等多種物體,分光模塊與光學振鏡模塊分離設計,加入光學振鏡掃描可替代昂貴的高精密位移臺。
產品可廣泛應用于半導體晶圓、金線、BGA、AR鏡片、精密接插件等亞微米級別的3D測量。
3D飛點分光干涉儀
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